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某大规模半导体技术引致公司工厂最靠近长三角经济圈形地方,主要的的生产的晶圆和基带芯片。在的生产的关键时期中,晶圆激光切割和增加光泽关键时期引致过多抛光液污水,每日废气量约50吨。根据污池中包含高生产废气浓度透明桌面物、黑色金属阳离子及生产生成剂,就直接废气会对环境引致较为严重污染源,公司工厂急用施工专注治理 基础设施。
废污水化学成分及来源地
机磨液污水重点来原于晶圆加工生产中的催化厂家打磨抛光(CMP)工艺程序,重点危害物以及:
浮悬颗粒肥料物
:二硫化硅、硫化铝等研磨设备科粒,粒度分布在0.1-1μm,溶液浓度高达独角兽2000mg/L。
金属件铁离子
:铜、铁、锌等,根据cnc精密机械加工垫摩擦及晶圆表面能复合层,铜化合物氧化还原电位约50mg/L。
无机增添剂
:收录表面层催化活化剂、脱硫剂等,COD值在800-1200mg/L。
酸碱平衡性物
:pH值跌涨大,一般说来在2-11两者之间。
治疗新工艺具体步骤
造成污废水 属性,运用“预清理+生化模式+深度.清理”组合起来艺:
调准池
:匀衡环境质量容量,添加图片强酸强碱调结pH至一般的中性。
混泥土悠长岁月中
:添加PAC(配位碱式氯化铝)和PAM(高密度聚乙烯酰胺),除掉浮悬物和固体,沉降后SS除掉率>90%。
离子液体钝化
:主要采用Fenton生化试剂(H₂O₂+Fe²⁺)溶解有机质增长剂,COD剔除率达60%。
生物工程办理
:MBR膜生物体体现器进一点降解塑料已用设计物,COD减至100mg/L下面的。
铝离子传递
:专门硅胶粘合剂气体吸附铜化合物,出水出水铜含水量<0.5mg/L。
砂滤+抗逆性炭脱水
:为了保证有水出使水变,到达《污水管道总合排放出标准规定的》(GB8978-1996)一个标准规定的。
最终能够的效果
程序运营比较稳定后:
SS<10mg/L,COD<60mg/L,铜阴离子<0.3mg/L。
使用率达40%,超过标准直接排卸,年提高工业废水直接排卸1.5万吨。
治理代价约15元/吨,远如果低于市场峰值。