该晶圆制做厂在华东划分地区划分,主耍分娩加工8厘米半导体器件晶圆,每日废液排卸量约800吨。仍然分娩加工步骤中利用很多氢氧化钠采取晶圆蚀刻,会造成废液中氟化物有机废气浓度到达200-300mg/L,远超国家排卸规范(10mg/L低于)。
生活污水材料及主要来源
废污水核心来源于这三个原则:
晶圆蚀刻步骤
:含高酸度氟化物(HF)、硝酸银及几瓶高价属
药剂学机器cnc精密机械加工(CMP)废水处理方法
:含微米级硅粉末、有机化学络合剂
仪器冲洗工业废水
:含异丙醇、化学需氧量等有机的物
工作工艺技术步骤
使用"化学物质石雕文化积淀+混凝土石雕文化积淀+长度滤水"三级分销处置系统化:
五级治理
:加药氯化钙和氢钝化钙,演变成氟化钙乳浊液,氟化物快速清理率达85%
2级加工
:更改PAC(缔合氯化铝)和PAM(聚乙烯酰胺),去掉悬浊液态感染物
一级治理
:顺利通过多有机溶剂过滤水器和化学活化炭吸附物,溢水氟化物氨水浓度比较稳定在8mg/L以上
最为关键的环保设备例如:pH自动的转换系统软件、斜管结晶池、板框压泥机(厌氧颗粒污泥脱水过滤)。
决定性成果
工作进行3年监测方案分析数据分析表明:
氟化物峰值含量:7.2mg/L(远低于地方准则)
COD取除率:92%
污泥干化含水分率:≤65%
年出售氟化钙副服务约150吨,完成資源化采取