该厂为8寸大晶圆生产销售线设备配套的超蒸馏水软件系统，没天出现含硅废液150吨。废液中虽无巨资属，但硅水分含量高易积垢，且功率电阻率需高于18MΩ·cm才可回收利用。原来除工院艺没有办法满足需要新发布的《电子技术工农业水破坏物尾气直接排放出标准标准》（GB39731-2020）特别尾气直接排放出标准卫生防护距离。 废污水材质优缺点 常见影响物 ：橡胶胶体部分硅（200-300mg/L）、颗料硅（颗粒直径0.1-1μm） 特出规定要求 ：TOC<10μg/L，硼量<5μg/L 水硬度特质 ：低纯水电导率（<50μS/cm）但硅单质形式更复杂 解决工艺设计操作流程 科技创新采用了"梯级膜转移+电去正离子"组装加工制作工艺 ： 微滤预工作 ：1μm卫浴陶瓷膜屏蔽广告大粉末硅，通量确保80LMH 化合物置换环氧树脂 ：D201大孔硅胶粘合剂选取性溶解硅酸原子核 三级RO设备 ：第1 段收购率60%，第十二段所采用高脱硼膜开关元件 EDI电去正离子 ：交流电溶解度2A/m²，不间断去掉多余铝离子 紫外光杀菌消毒 ：254nm紫外光线使用量40mJ/cm² 新技术突出 发展專用阻硅剂（有机化学胺类黏结物），减缓膜弄脏期3倍 EDI输出模块技术创新流道的设计，硅弄掉率上升至99.8% 百度在线硅解析仪（测量方法时间范围0.1-500μg/L）体现会员精准营销调整 自动运行转化效果 经第三点方探测： 总硅从280mg/L低于0.05mg/L 硼含锌量从8μg/L调至0.3μg/L 控制系统回收处理率从原40%不断提升至68% 膜改换时间间隔减少至5年，年进行代价降低35%