某半导体器件集成ic生产厂在晶圆加工处理过程中中,运行硅烷完成硅外加发展,氮氧化合物洗條塔生产高占比含硅废液。废液都具有pH起伏较大大(2-11)、硅占比高的作用,传统式加工处理方式 易展现硅垢赌塞话题。
废水处理工艺成分表及的来源
废水处理工艺重要物质为:
溶解完性硅酸盐
:SiO₂含量达1000-1500mg/L
氢硫化钠/氢硫化钠
:洗滌剂塔耐酸碱洗滌剂液留下
科粒硅
:微米级SiO₂胶体溶液
痕量砷
:制造原材料沉淀物带
净化处理新鑫霖环保流程步骤
革新用于"两极结合+膜过滤清洁+多效蒸发晶体"流程:
三级中合
:用CaO上下调整pH至4-5,生产硅酸钙奠定,硅彻底清除率60%。
二次元采和
:加Na₂CO₃将pH提拔至9,进一次放置剩下的硅,串联用镁剂除砷。
反渗透膜平台
:0.02μm瓷砖膜净化纳米技术级硅颗粒肥料,通量不稳定性在80LMH。
MVR减压蒸馏器
:浓缩咖啡高盐电镀废水,凝结出Na₂SO₄副设备,水使用率超90%。
最中目的
总硅从1500mg/L降落到5mg/L有以下
砷含碳量从0.8mg/L降下来0.01mg/L
系统化无积垢程序运行已超2年
第年回收处理氢氧化钾钠单晶体约800吨